白色干渉3Dエリアセンサー heliInspect(株)リンクス

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ナノメートルレベルのインライン3D計測

heliInspectは非接触方式で最も精度の高い計測原理である白色干渉法を用いた3次元エリアセンサーカメラです。通常白色干渉方式は1視野あたり数10秒の計測時間を要しますが、特別なCMOSセンサー技術によりワンショットあたり数100msでナノオーダーの計測を実現します。これにより顕微鏡や接触式と同等レベルの測定をインライン検査に活用することが可能です。

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(株)リンクス コーポレートオペレーション部

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